GBT19001 Grey Tube Targets Cel rozpylający magnetronowy

Tytanowa rura docelowa Tytan Gr2 ASTM B861-06 a Powłoka próżniowa do docelowego materiału

Materiał docelowy do powlekania jest źródłem rozpylania, które może tworzyć różne błony funkcjonalne na podłożu przez wielołukowe powlekanie jonowe metodą rozpylania magnetronowego lub inne rodzaje systemu powlekania w odpowiednich warunkach technologicznych.Krótko mówiąc, celem jest materiał docelowy bombardowany przez naładowane cząstki o dużej prędkości.W przypadku użycia w broni laserowej o wysokiej energii, różne gęstości mocy, kształty fali wyjściowej i długości fal laserów oddziałują z różnymi celami, powstaną różne efekty zabijania i niszczenia.Na przykład, powłoka napylania magnetronowego przez odparowanie jest powłoką z odparowania nagrzewania, folią aluminiową itp. Różne materiały docelowe (takie jak aluminium, miedź, stal nierdzewna, tytan, cele niklowe itp.) można wymienić w celu uzyskania różnych systemów folii (takich jak super twarda, odporna na zużycie, antykorozyjna folia stopowa itp.)

1) Zasada rozpylania magnetronowego:
Pomiędzy napyloną tarczą (katodą) a anodą dodaje się prostopadłe pole magnetyczne i pole elektryczne, a wymagany gaz obojętny (zwykle gaz Ar) jest wprowadzany do komory wysokiej próżni.Magnes trwały wytwarza na powierzchni materiału celu pole magnetyczne o wartości 250-350 gaussów, które tworzy ortogonalne pole elektromagnetyczne z polem elektrycznym wysokiego napięcia.Pod działaniem pola elektrycznego, jonizacja gazu Ar na jony dodatnie i elektrony, celuje i ma pewne podciśnienie, z działania celu od skrajnie pod wpływem pola magnetycznego i wzrostu prawdopodobieństwa jonizacji gazu roboczego, tworzy plazmę o wysokiej gęstości w pobliżu katoda, jon Ar pod działaniem siły Lorentza, przyspieszenie lotu do powierzchni docelowej, bombardowanie powierzchni docelowej z dużą prędkością, atomy napylone na celu działają zgodnie z zasadą konwersji pędu i odlatują od powierzchni docelowej z większą prędkością energia kinetyczna do podłoża i kumuluje się w filmie.Napylanie magnetronowe jest ogólnie podzielone na dwa rodzaje: napylanie prądem stałym i napylanie częstotliwością radiową, które to zasada sprzętu do napylania prądem stałym jest prosta, w przypadku napylania metalu jego szybkość jest szybka.Zastosowanie napylania rf jest bardziej rozległe, oprócz napylania materiałów przewodzących, może również napylać materiały nieprzewodzące, ale może to być również reaktywny tlenek, azotek i węglik i inne materiały złożone.Jeśli częstotliwość częstotliwości radiowej staje się mikrofalowym napylaniem plazmowym, dziś powszechnie stosowane jest napylanie mikrofalowe plazmowe metodą elektronowego rezonansu cyklotronowego (ECR).
2) Rodzaj celu rozpylania magnetronowego:
Materiał docelowy do napylania metalowego, materiał powłokowy do napylania stopowego, ceramiczny materiał powłokowy do napylania ceramicznego, ceramiczne materiały docelowe do napylania borkowego, ceramiczny materiał docelowy do napylania ceramicznego z węglika, ceramiczny materiał docelowy do napylania fluorkowego, ceramiczne materiały docelowe do napylania azotkowego, cel ceramiczny z tlenkiem, ceramiczny materiał docelowy do napylania selenkowego, ceramiczne materiały do ​​napylania krzemowego, ceramiczny materiał do napylania siarczkowego, ceramiczny materiał do napylania z tellurku, inne cele ceramiczne, cel ceramiczny z tlenku krzemu domieszkowanego chromem (CR-SiO), cel z fosforanu indu (InP), cel z arsenku ołowiu (PbAs), ind tarcza arsenkowa (InAs).

Główne zalety
Niska gęstość i wysoka wytrzymałość specyfikacji
Dostosowanie niestandardowych żądań
Doskonała odporność na korozję
Dobra odporność na ciepło
Doskonała wydajność w niskich temperaturach
Dobre właściwości termiczne
Niski moduł sprężystości