Powłoka próżniowa Gr1 Titanium Sputtering Target 133OD * 125ID * 840L

Tytanowa rurka docelowa Tytan Gr1 ASTM B861-06 a 133OD * 125ID * 840L Docelowa powłoka próżniowa do napylania

Celem powlekania jest źródło rozpylania, które tworzy różne warstwy funkcjonalne na podłożu przez rozpylanie magnetronowe, wielołukowe powlekanie jonowe lub inne rodzaje systemów powlekania w odpowiednich warunkach technologicznych.Mówiąc prościej, materiał docelowy to materiał docelowy bombardowania szybkimi naładowanymi cząstkami.W przypadku użycia w broni laserowej o wysokiej energii, różne gęstości mocy, różne kształty fali wyjściowej i różne długości fali lasera oddziałują z różnymi celami, powstaną różne efekty zabijania i niszczenia.Na przykład wyparna powłoka magnetronowa jest ogrzewaną powłoką parowania, folią aluminiową itp. Zmień różne materiały docelowe (takie jak aluminium, miedź, stal nierdzewna, tytan, cel niklowy itp.), Możesz uzyskać różne systemy folii (takie jak super twarde , odporna na zużycie, antykorozyjna folia ze stopu itp.)
Pomiędzy napylonym biegunem tarczy (katodą) a anodą dodaje się prostopadłe pole magnetyczne i pole elektryczne, a wymagany gaz obojętny (zwykle gaz Ar) jest wprowadzany do komory o wysokiej próżni.Magnes trwały wytwarza na powierzchni materiału docelowego pole magnetyczne o wartości 250 ~ 350 Gauss, które tworzy ortogonalne pole elektromagnetyczne z polem elektrycznym wysokiego napięcia.Pod działaniem pola elektrycznego, jonizacja gazu Ar na jony dodatnie i elektrony, celuje i ma pewne podciśnienie, z działania celu od skrajnie pod wpływem pola magnetycznego i wzrostu prawdopodobieństwa jonizacji gazu roboczego, tworzy plazmę o wysokiej gęstości w pobliżu katoda, jon Ar pod działaniem siły Lorentza, przyspieszenie lotu do powierzchni docelowej, bombardowanie powierzchni docelowej z dużą prędkością, atomy napylone na celu działają zgodnie z zasadą konwersji pędu i odlatują od celu z wysoką energią kinetyczną na podłoże do osadzania folii.Napylanie magnetronowe dzieli się na ogół na dwa rodzaje: napylanie DC i napylanie RF.Zasada działania sprzętu do napylania prądem stałym jest prosta, a szybkość napylania metalu jest szybka.Rozpylanie Rf jest szerzej stosowane, oprócz napylania materiałów przewodzących, może również napylać materiały nieprzewodzące, ale także napylanie reaktywne w celu przygotowania tlenków, azotu i węglików oraz innych materiałów złożonych.Jeśli częstotliwość częstotliwości radiowej zostanie zwiększona, staje się ona mikrofalowym napylaniem plazmowym.Obecnie powszechnie stosuje się mikrofalowe napylanie plazmowe typu elektronowego cyklotronowego rezonansu (ECR).

Cechy

1. Niska gęstość i wysoka wytrzymałość
2. Dostosowane zgodnie z rysunkami wymaganymi przez klientów
3. Silna odporność na korozję
4. Silna odporność na ciepło
5. Odporność na niskie temperatury
6. Odporność na ciepło