Pakowanie próżniowe cele rozpylania tytanu Gr2 78,99OD * 45

Tytanowe materiały docelowe Tytan Gr2 78.99OD * 45 Materiały do ​​napylania Pakowanie próżniowe

Czystość jest jednym z głównych wskaźników wydajności materiału docelowego, ponieważ czystość materiału docelowego ma ogromny wpływ na właściwości folii. Jednak w praktycznym zastosowaniu wymagania dotyczące czystości materiału docelowego są również inne. Głównymi źródłami osadzania się filmu są zanieczyszczenia w materiale stałym oraz tlen i para wodna w porach. Aby zmniejszyć porowatość ciała stałego materiału targetu i poprawić właściwości napylonej warstewki, zwykle wymaga się, aby materiał targetu miał wyższą gęstość. Gęstość materiału docelowego wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne folii. Im wyższa gęstość materiału docelowego, tym lepsza wydajność filmu. Ponadto, gęstość i wytrzymałość materiału targetu można poprawić tak, że materiał targetu może lepiej znosić naprężenia termiczne w procesie napylania. Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności materiału docelowego.