Wewnątrz tarczy ze stali nierdzewnej o średnicy 123 mm o wysokiej gęstości

OD150 * ID123 * 1091 Stal nierdzewna 304 Docelowa rura ze stali nierdzewnej

Materiały docelowe w przemyśle półprzewodnikowym.Materiały półprzewodnikowe można podzielić na materiały waflowe i materiały opakowaniowe.Materiały opakowaniowe mają niższe bariery techniczne w porównaniu z materiałami do produkcji wafli. Istnieje siedem rodzajów materiałów półprzewodnikowych i chemikaliów zaangażowanych w produkcję płytek, z których jednym jest napylanie materiałów docelowych. Materiał docelowy to taki, który jest bombardowany przez naładowane cząstki o dużej prędkości. Zmieniając różne materiały docelowe (takie jak aluminium, miedź, stal nierdzewna, tytan, nikiel itp.), można uzyskać różne systemy folii (takie jak supertwarde, odporne na zużycie, odporne na korozję folie stopowe itp.).

Czystość jest jednym z głównych wskaźników wydajności materiału docelowego, ponieważ czystość materiału docelowego ma duży wpływ na właściwości folii. Jednak w praktyce wymagania dotyczące czystości materiałów docelowych są również inne. Głównymi źródłami osadzania się filmu są zanieczyszczenia w materiałach stałych oraz tlen i para wodna w porach. W celu zmniejszenia porowatości stałego materiału celu i poprawy wydajności warstewki do napylania, materiał celu zwykle musi mieć wysoką gęstość. Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności materiałów docelowych. Gęstość materiału docelowego wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw. Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność tworzenia filmu. Ponadto, gęstość i wytrzymałość materiału targetu można poprawić, sprawiając, że materiał targetu lepiej wytrzymuje naprężenia termiczne podczas napylania katodowego.